納米級(jí)氣浮定位運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
納米級(jí)氣浮定位運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

氣浮定位運(yùn)動(dòng)裝置以大理石平臺(tái)為基座, 運(yùn)用氣浮導(dǎo)軌和電機(jī)控制技術(shù), 配合激光干涉儀最大測(cè)量范圍可達(dá)到 0-5m(任意長(zhǎng)度可定制),在慢速運(yùn)動(dòng)情況下定位精度可達(dá)到 10nm,廣泛應(yīng)用于國(guó)防航天行業(yè)的產(chǎn)品檢測(cè)。當(dāng)定位精度在 2μm 情況下用直線電機(jī)控制氣浮運(yùn)動(dòng),最大速度可達(dá)到 5m/s,配備相應(yīng)測(cè)量軟件對(duì)機(jī)器進(jìn)行控制,測(cè)量方便,用途廣泛。

  • 產(chǎn)品參數(shù)
  • 適用范圍
  • 產(chǎn)品描述
  • 參數(shù)配置

技術(shù)特點(diǎn)

●導(dǎo)軌面間是氣體潤(rùn)滑,因此摩擦系數(shù)極小。

●導(dǎo)軌磨損極小,儀器使用壽命長(zhǎng),能長(zhǎng)期保證系統(tǒng)精度。

●氣膜具有誤差均化作用,可提高導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度。

●氣膜厚度幾乎不受速度影響,即使在極低速時(shí)也不會(huì)產(chǎn)生爬行,運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。

●幾乎不產(chǎn)生熱量,不會(huì)發(fā)生粘度變化,無(wú)需添加冷卻措施。

野齒儀器-納米級(jí)氣浮定位運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

野齒儀器-納米級(jí)氣浮定位運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)


型號(hào)
納米級(jí)氣浮定位運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
測(cè)量方式
直接測(cè)量
測(cè)量范圍mm0-5000(定制任意長(zhǎng)度)
測(cè)量精度μm慢速運(yùn)動(dòng):0.5+L(mm)/500
測(cè)量精度μm快速運(yùn)動(dòng):2+L(mm)/500
分辨率μm0.1
測(cè)量系統(tǒng)
采用雷尼紹高精度光柵尺
運(yùn)動(dòng)速度
最高可達(dá)5m/s
環(huán)境要求
溫度20±2℃;濕度50%±5%;
氣源壓力
0.4 - 0.6 Mpa


氣浮定位運(yùn)動(dòng)裝置以大理石平臺(tái)為基座, 運(yùn)用氣浮導(dǎo)軌和電機(jī)控制技術(shù), 配合激光干涉儀最大測(cè)量范圍可達(dá)到 0-5m(任意長(zhǎng)度可定制),在慢速運(yùn)動(dòng)情況下定位精度可達(dá)到 10nm,廣泛應(yīng)用于國(guó)防航天行業(yè)的產(chǎn)品檢測(cè)。當(dāng)定位精度在 2μm 情況下用直線電機(jī)控制氣浮運(yùn)動(dòng),最大速度可達(dá)到 5m/s,配備相應(yīng)測(cè)量軟件對(duì)機(jī)器進(jìn)行控制,測(cè)量方便,用途廣泛。

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